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你用的是99.999%的高纯气体吗?

2021-08-17

通常半导体生产行业,高纯气体厂家将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中,常用气体指集中供给而且使用非常多的气体,比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展,对气体工业的产品提出了越来越多的需求,国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多,而且气体纯度越来越高,其含量常常在99.999%以上。


高纯气体


高纯气体广泛应用于电子产品、半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程,半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求都十分严格,需要对气体中微量(ppm)、痕量(ppb)级成分进行分析。


PDD模块化脉冲放电氦离子化检测器

模块化脉冲放电氦离子化检测器(PDD)是一款具有超高灵敏度的通用型检测器,对所有的物质均具有较高的灵敏度,因此,该检测器常被用于高纯气体中杂质的分析,其检测限能达到ppb级别。


TRACE 1300 GC 系列即时连接脉冲放电检测器 (PDD)

高纯气体分析方案

高纯气体分析方案采用PDD气相色谱检测系统,能实现对多种高纯气体(Ne、H2、O2、N2、Ar、Kr、CH4、CO、CO2等)的分析。对几乎所有的无机和有机化合物均有很高的响应,分析重复性良好,检出限低,适合多数痕量分析方法测试的要求。


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