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高纯气体管道工程应用领域

2022-01-27

高纯气体管道工程应用领域

高纯气体管道系统工程有着能保证气体的纯度、保证标准气体流量、压力稳定和量值传递不发生变化等特点,广泛应用于半导体、集成电路、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各种实验室、科研研究所、标准测试等高科技行业。


高纯气体


常见气体种类:

在电子工业中普通气体,也称大宗气体(Bulkgas):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氮气(A2)等;除普通气体外,电子工业还会用到大量的高纯特种气体(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。这些特殊气体根据气体性质,类别通常可分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。


常用半导体气体分类如下:


(一)腐蚀性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等


(二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等


(三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等


(四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等


半导体行业中使用的电子特种气体,很多都是对人体有害的。比如,半导体制程工艺Z常见的特种气体:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦发生泄漏,它们就会与空气中的氧气剧烈反应并开始燃烧。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有剧毒性,任何轻微的泄漏都可能对人们的生命造成伤害。正是由于这些明显的危险,所以对于高纯气体供应系统设计的安全性要求特别高。


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