广东气体厂家批发价格
发布时间:2023-04-14 02:21:42
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在制备标准气体之前,还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应(如氧化、腐蚀、吸附等)问题,以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性,选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。

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超高纯气体系统过滤器主要是过滤系统内部高纯气体中含有的杂质污染物,它的原理是通过扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉。如果有任何杂质在超纯气体里就会造成气体质量下降,影响气体的纯度。

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对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

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在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。
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