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柳州广西气体市场报价

发布时间:2023-04-29 02:20:50
柳州广西气体市场报价

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从安全的角度出发,在制备标准气体之前,必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的爆炸极限,在制备由可燃气体和氢气(或氧气)组成的标准气体时,要注意组分气体含量是否超过爆炸限的问题。否则在制备过程中,可能发生爆炸事故。爆炸限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前,必须了解该组分的爆炸限,以确保安全

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因此,国外并不是简单地用几个“9”来表示高纯度气体,而是直接用不同的目的来命名高纯度气体的程度。如光谱纯值、原子平面、电子平面、半导体平面、太阳能电池平面、外延平面、VLSI平面(VLSI平面)、研究平面等。它们仅表示材料水平适合于特定现场站的使用,并不意味着杂质量必须小于某个值。正如化学试剂一般分为G.R.,A.R.,和C.P.,这仅意味着它们的纯度“优异”,“可用于分析”和“只能用于一般化学试剂”。这并不一定意味着材料或试剂的总杂质含量已降低到某个数量级。同一水平的不同材料或试剂中包含的杂质量有时可能会变化几个数量级。根据材料的用途选择材料的纯度,使我们能够选择目标明确的材料,克服盲目性。

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标准气体是指气体状态的标准参比物质, 包括高纯度标准气体和混合标准气体, 配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。

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所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

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标准气体有实际气体和理想气体之分。标准气体理想气体被假设为气体分子之间没有相互作用力,气体分子自身没有体积,当实际气体压力不大,分子之间的平均距离很大,气体分子本身的体积可以忽略不计,温度又不低,导致分子的平均动能较大,分子之间的吸引力相比之下可以忽略不计,实际气体的行为就十分接近理想气体的行为,可当作理想气体来处理。以下内容中讨论的全部为理想气体,但不应忘记,实际气体与之有差别,用理想气体讨论得到的结论只适用于压力不高,温度不低的实际气体。

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管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信:gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。