南雄高纯气体采购

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

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为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性，应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。方法比对，常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失，通常采用气相色谱法进行分析比对，以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来，重量法制备标准气体的不确定度优于1%，如果用气相色谱法分析，比对结果偏差优于2%，应逐级查找原因，以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。

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特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。自80年代开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达国家水平相近。气体工业是国民经济基础工业之一，它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活，牵动着高科技的发展。

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对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。