阳春广西气体批量采购
发布时间:2023-07-13 02:17:09
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我们都知道,价格上涨的速度快于指数增长,气体纯度越高,价格越高,并且随着“9”的增加。很难获得七种“9”或更多的超高纯度气体。除了在实验室提供零件外,在一般工业生产中很难提供大量零件。因此,数字为“9”的纯气体在一般生产中是完全不可接受的,除非它可以在科学研究中有条件地被接受。因此,我们应从气体中杂质的浓度和杂质对工艺的危害性的角度选择使用高纯度气体。这是因为很难将气体中的杂质总量降至lppm以下,但重要的是将单个有害杂质降至L×10-9或更低。根据当前工艺水平,硅中的总杂质含量不低于10-8(1ppm)。然而,对磷和硼等有害电活性杂质的单独控制已达到1×10-8~l×10-10。(即o.1o.o1ppb)

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管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信:gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

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高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氢,氮,氦,氩而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.199%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为运载气,保护气和配制混合气的底气。

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标准气体是引有气体工业名词,标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的,良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现,保存和传递量值的基本作用,在物理,化学,生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值,进行量值仲裁等。

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因此,国外并不是简单地用几个“9”来表示高纯度气体,而是直接用不同的目的来命名高纯度气体的程度。如光谱纯值、原子平面、电子平面、半导体平面、太阳能电池平面、外延平面、VLSI平面(VLSI平面)、研究平面等。它们仅表示材料水平适合于特定现场站的使用,并不意味着杂质量必须小于某个值。正如化学试剂一般分为G.R.,A.R.,和C.P.,这仅意味着它们的纯度“优异”,“可用于分析”和“只能用于一般化学试剂”。这并不一定意味着材料或试剂的总杂质含量已降低到某个数量级。同一水平的不同材料或试剂中包含的杂质量有时可能会变化几个数量级。根据材料的用途选择材料的纯度,使我们能够选择目标明确的材料,克服盲目性。