揭阳气体厂家批发价格

半导体行业中几乎各道工序都用到超纯气体，器件的质量与超纯气体的纯净度有密切关系。因此，对于超纯气体的过滤净化是要起到重视作用的，选择一个质量过硬的超纯气体过滤器能够帮助有效去除脱落粒子，保护超纯气体的纯度避免工程损失和损坏。

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超高纯气体过滤器通常安装在阀门、配件下游和进气前的部分，供气系统内部由于振动效果或者强气流冲击导致金属粒子脱落，容易将粒子污染物带入气体中，因此需要在用超高纯气体过滤器过滤。超高纯气体过滤器能对超纯气体进行有效精密过滤，可通过多级处理满足工况要求，产品一体化无缝结合无焊接部位，适用于高压工况下的气体及液体过滤。

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对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

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由于很多高压气体系统内部压力的很高的，因此耐高压超高纯气体过滤器采用316l不锈钢材质，耐压能力强，适合多种高压工况系统。产品体积小，安装方便，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降。

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根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。