梅州广西气体采购
发布时间:2023-08-02 02:16:35
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高纯气体管道工程系统应用领域。该项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石化、生物医、各种实验室、研究所、标准测试等高科技产业。气体管道的五项试验是QC中最重要的部分。这五项试验包括:保压试验、氦泄漏试验(氦检测)、水试验、氧试验和颗粒试验,确保气体管道系统质量达到一定水平,满足客户需求。我们今天需要了解的是氦质谱泄漏检测的步骤和氦泄漏检测方法。

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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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从安全的角度出发,在制备标准气体之前,必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的爆炸极限,在制备由可燃气体和氢气(或氧气)组成的标准气体时,要注意组分气体含量是否超过爆炸限的问题。否则在制备过程中,可能发生爆炸事故。爆炸限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前,必须了解该组分的爆炸限,以确保安全

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在火灾原因调查中, 研究和应用一种气态物证的分析鉴定方法时, 需配制一定浓度的被检测物质的标准气体, 以试验不同采样仪器的采样效率或不同吸收液的吸收效率和鉴定方法的准确性、可靠性。因此, 配制一定浓度的标准气体是消防产品研究、开发、生产和消防工作的一个重要环节。而标准气体的配制又不同于液体标准物质的配制, 有一定的难度。因此, 本文将重点介绍几种所用仪器, 设备简单, 易于操作, 特别适用于消防产品研制、生产和消防实际工作的标准气体的配制技术。

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标准气体的标准状态—— 标准气体是物质的一个态。气体与液体一样是流体:它可以流动,可变形。与液体不同的是气体可以被压缩。假如没有限制(容器或力场)的话,气体可以圹散,其体积不受限制。标准气体气态物质的原子或分子相互之间可以自由运协。气态物质的原子或分子的动能比较高

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因此,国外并不是简单地用几个“9”来表示高纯度气体,而是直接用不同的目的来命名高纯度气体的程度。如光谱纯值、原子平面、电子平面、半导体平面、太阳能电池平面、外延平面、VLSI平面(VLSI平面)、研究平面等。它们仅表示材料水平适合于特定现场站的使用,并不意味着杂质量必须小于某个值。正如化学试剂一般分为G.R.,A.R.,和C.P.,这仅意味着它们的纯度“优异”,“可用于分析”和“只能用于一般化学试剂”。这并不一定意味着材料或试剂的总杂质含量已降低到某个数量级。同一水平的不同材料或试剂中包含的杂质量有时可能会变化几个数量级。根据材料的用途选择材料的纯度,使我们能够选择目标明确的材料,克服盲目性。