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气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、一氧化碳、二氧化碳等无机气体，甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的绝大部分有机气体的分析。通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用，分析的含量范围为10-9~99.999%。所以，气相色谱法也是分析标准气体中应用多、普遍的方法。

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对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

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那么高纯气体管道安装后应有哪些性能特点？1、管材的透气性要小；2、管材内表面吸附解吸气体的作用要小；3、内壁光滑、耐磨损；4、有良好的抗腐蚀性能；5、性能稳定，含碳量低。以上这些优良性能大多都基于高纯气体管道安装时：对材料阀门的选择、遵循国家管道安装技术要求和施工注意事项(比如：气体管道工程的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部)，以及对气体管道的检验和维护保养。

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只需少量标准气体，可选择100ML注射器配制标准气体；经过多次稀释，可以生产出所需的低浓度标准气体。标准气体的浓度可以根据原料气体的浓度和稀释倍数来计算。配气注射器必须气密性好，体积小，制度准确。配气前放一小块聚四氟乙烯片搅拌。虽然注射器配气方法简单易行，配制某些标准气体时浓度也非常准确，但由于注射器内壁吸附、死体积大、液体挥发不完全等因素影响，气体浓度误差度误差较大，许多化合物的标准气体不宜用该方法制备。使用挥发性液体配气时，特别是通过验证后，注射器配气。

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标准气体是指气体状态的标准参比物质, 包括高纯度标准气体和混合标准气体, 配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。