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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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标准气体是指气体状态的标准参比物质, 包括高纯度标准气体和混合标准气体, 配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。

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在国民经济高速发展及下游行业的强劲需求下，我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段，年均增速达到17%以上。2011年，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元，较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元，2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。据统计，我国共有特种气体生产企业150余家，但多数企业生产规模较小。而跨国企业通过在国内投资设立众多合资或独资的气体公司，其市场份额已经占到国内销售气体产品市场份额的70%左右，占据着行业的主导地位。2010年，德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售和83.08%的利润。2011年，外资企业的市场竞争优势进一步上升，其销售收入和利润分别占中国市场总额的67.47%和86.44%。

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标准气体理想气体方程pv=nRT标准气体遵从理想气体状态方程是理想气体的基本特征。理想气体状态方程有四个变量——气体的压力P、气体的体积 V、气体的物质的量N以及温度T和一个常量（气体常为R）,只要其中三个变量确定，理想气体就处于一个状态，因而该方程叫做理想气体装态方程。标准气体温度T和物质的量N 的单位是固定不变的，分别为K和MOL，而气体的压力P和体积V的单位却有多种取法，这时，状态方程中的常量R的取值（包括单位）也就跟着改变，在进行运算时，千万要注意正确取用R值：P的单位V的单位R的取值（包括单位）

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特种气体兴起于60年代中期，作为基础化工材料，主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、医学科学、临床诊断、医药消毒、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展，其应用范围也越来越广泛。自80年代开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达国家水平相近。气体工业是国民经济基础工业之一，它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活，牵动着高科技的发展。

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特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。