肇庆气体厂家厂家供应

超纯气体指纯度高于99.99%的气体，是一种高纯化学试剂。它主要应用在一些科学研究和尖端技术的特殊应用上，比如半导体工业中会用到氢、氮、氦、硅烷等单一超纯气体作为保护气和载气，也可在高温扩散炉中用作器件的保护气。除此之外，也有不少超纯混合气体作为色谱、质谱和光谱分析中的标准气来使用。

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高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦，氩而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。

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高纯气体管道工程系统应用领域。该项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石化、生物医、各种实验室、研究所、标准测试等高科技产业。气体管道的五项试验是QC中最重要的部分。这五项试验包括：保压试验、氦泄漏试验（氦检测）、水试验、氧试验和颗粒试验，确保气体管道系统质量达到一定水平，满足客户需求。我们今天需要了解的是氦质谱泄漏检测的步骤和氦泄漏检测方法。

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为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性，应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。方法比对，常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失，通常采用气相色谱法进行分析比对，以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来，重量法制备标准气体的不确定度优于1%，如果用气相色谱法分析，比对结果偏差优于2%，应逐级查找原因，以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。

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在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。