贵港广西气体批量采购
发布时间:2023-12-19 02:08:15
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超高纯气体过滤器通常安装在阀门、配件下游和进气前的部分,供气系统内部由于振动效果或者强气流冲击导致金属粒子脱落,容易将粒子污染物带入气体中,因此需要在用超高纯气体过滤器过滤。超高纯气体过滤器能对超纯气体进行有效精密过滤,可通过多级处理满足工况要求,产品一体化无缝结合无焊接部位,适用于高压工况下的气体及液体过滤。

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在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端高精度气体过滤器。

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因此,国外并不是简单地用几个“9”来表示高纯度气体,而是直接用不同的目的来命名高纯度气体的程度。如光谱纯值、原子平面、电子平面、半导体平面、太阳能电池平面、外延平面、VLSI平面(VLSI平面)、研究平面等。它们仅表示材料水平适合于特定现场站的使用,并不意味着杂质量必须小于某个值。正如化学试剂一般分为G.R.,A.R.,和C.P.,这仅意味着它们的纯度“优异”,“可用于分析”和“只能用于一般化学试剂”。这并不一定意味着材料或试剂的总杂质含量已降低到某个数量级。同一水平的不同材料或试剂中包含的杂质量有时可能会变化几个数量级。根据材料的用途选择材料的纯度,使我们能够选择目标明确的材料,克服盲目性。

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为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性,应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。方法比对,常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失,通常采用气相色谱法进行分析比对,以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来,重量法制备标准气体的不确定度优于1%,如果用气相色谱法分析,比对结果偏差优于2%,应逐级查找原因,以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。