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管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

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非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。

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在标准气体研究阶段，要考察所研究的标准气体的均匀性，一般采用气相色谱法在相同的操作条件下，进行测定，以考察标准气体的均匀性，通常用平均值的一致性检验方法来判断。由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后，多长时间量值达到稳定，由有限次测定得到的平均值，在方法的不确定范围内应该是不显著的。如果差异是显著的，这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。

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组成标准气体的组成与被测样品相同或相近，对某些原理的分析方法（有些物质不同的分析方法因其分析的机理不同，分析结果有所差异）组成不同会响应值产生差异，但是出于被测对象的纷繁及标准气体品种所限，有时难于做于完全一致，在这种况下应选择组成尽可能相近的标准气体，并通过可告方法考核其定量的准确性。

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在火灾自动报警器、呼吸器、传感器和火灾现场易燃、易爆、有毒、有害气体快速检测仪器及其它消防产品的研究、开发和生产中, 经常需要配制一系列物质的标准气体, 用以对产品进行检测和校准; 在火灾现场易燃、易爆、有毒、有害气体物质快速检测中, 需要一定浓度的标准气体, 作为制作标准色列或浓度标尺的标准;