深圳高纯气体厂家供应

在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。

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一般来说，人们通常使用百分比浓度来表示气体的纯度，即所谓的“9”表达式。例如，99.9%的特定气体浓度表示其含有0.1%的杂质（即杂质含量为1000 ppm）。根据一般概念，很明显，浓度为99.995%的气体比99.99%的气体更纯净，人们似乎更喜欢它。然而，如果纯度的选择仅仅 于此，这将对科学研究或生产产生负面影响。如果只考虑这些因素，显然忽略了两个主要因素，即高纯度气体的价格和所含杂质的危害性。

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特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。