玉林广西气体厂家价格

对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

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如今，高纯气体管道工程已是我们生活及工业生产中一种常见的工程，其中的气体管道安装工作关系着整个工程的性能和质量。高纯气体管道工程是专为高纯氦气、高纯氧气、高纯氮气、高纯氢气、高纯氩气等各种高纯气体的输送设计的气体管道工程，常应用于检验检疫、生物制药、高等院校、化工食品企业、水质油料分析等分析实验室。

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由于很多高压气体系统内部压力的很高的，因此耐高压超高纯气体过滤器采用316l不锈钢材质，耐压能力强，适合多种高压工况系统。产品体积小，安装方便，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降。

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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高纯氢气（PH2）氢气（H2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气（Ar）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

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超高纯气体过滤器通常安装在阀门、配件下游和进气前的部分，供气系统内部由于振动效果或者强气流冲击导致金属粒子脱落，容易将粒子污染物带入气体中，因此需要在用超高纯气体过滤器过滤。超高纯气体过滤器能对超纯气体进行有效精密过滤，可通过多级处理满足工况要求，产品一体化无缝结合无焊接部位，适用于高压工况下的气体及液体过滤。