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来宾高纯气体批发

发布时间:2024-05-20 01:48:48
来宾高纯气体批发

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所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

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那么高纯气体管道安装后应有哪些性能特点?1、管材的透气性要小;2、管材内表面吸附解吸气体的作用要小;3、内壁光滑、耐磨损;4、有良好的抗腐蚀性能;5、性能稳定,含碳量低。以上这些优良性能大多都基于高纯气体管道安装时:对材料阀门的选择、遵循国家管道安装技术要求和施工注意事项(比如:气体管道工程的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部),以及对气体管道的检验和维护保养。

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在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体(高纯氧除外)中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步,国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪

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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。