兴宁高纯气体生产厂家
发布时间:2024-05-29 01:48:54
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根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

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标准气体是指气体状态的标准参比物质, 包括高纯度标准气体和混合标准气体, 配气主要是指配制混合标准气体。混合标准气体是由已知含量的一种或多种组分的气体混合到另一种不与其发生反应的背景气体中而制成。标准气体的配制技术主要包括静态配气技术和动态配气技术两大类。

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那么高纯气体管道安装后应有哪些性能特点?1、管材的透气性要小;2、管材内表面吸附解吸气体的作用要小;3、内壁光滑、耐磨损;4、有良好的抗腐蚀性能;5、性能稳定,含碳量低。以上这些优良性能大多都基于高纯气体管道安装时:对材料阀门的选择、遵循国家管道安装技术要求和施工注意事项(比如:气体管道工程的干管,应敷设在上下技术夹层或技术夹道内,当与水、电管线共架时应设在其上部),以及对气体管道的检验和维护保养。

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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体(高纯氧除外)中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步,国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪