广东气体厂家市场报价

在国民经济高速发展及下游行业的强劲需求下，我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段，年均增速达到17%以上。2011年，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元，较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元，2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。据统计，我国共有特种气体生产企业150余家，但多数企业生产规模较小。而跨国企业通过在国内投资设立众多合资或独资的气体公司，其市场份额已经占到国内销售气体产品市场份额的70%左右，占据着行业的主导地位。2010年，德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售和83.08%的利润。2011年，外资企业的市场竞争优势进一步上升，其销售收入和利润分别占中国市场总额的67.47%和86.44%。

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

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我们都知道，价格上涨的速度快于指数增长，气体纯度越高，价格越高，并且随着“9”的增加。很难获得七种“9”或更多的超高纯度气体。除了在实验室提供零件外，在一般工业生产中很难提供大量零件。因此，数字为“9”的纯气体在一般生产中是完全不可接受的，除非它可以在科学研究中有条件地被接受。因此，我们应从气体中杂质的浓度和杂质对工艺的危害性的角度选择使用高纯度气体。这是因为很难将气体中的杂质总量降至lppm以下，但重要的是将单个有害杂质降至L×10-9或更低。根据当前工艺水平，硅中的总杂质含量不低于10-8（1ppm）。然而，对磷和硼等有害电活性杂质的单独控制已达到1×10-8～l×10-10。（即o.1o.o1ppb）

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标准气体有实际气体和理想气体之分。标准气体理想气体被假设为气体分子之间没有相互作用力，气体分子自身没有体积，当实际气体压力不大，分子之间的平均距离很大，气体分子本身的体积可以忽略不计，温度又不低，导致分子的平均动能较大，分子之间的吸引力相比之下可以忽略不计，实际气体的行为就十分接近理想气体的行为，可当作理想气体来处理。以下内容中讨论的全部为理想气体，但不应忘记，实际气体与之有差别，用理想气体讨论得到的结论只适用于压力不高，温度不低的实际气体。

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为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性，应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。方法比对，常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失，通常采用气相色谱法进行分析比对，以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来，重量法制备标准气体的不确定度优于1%，如果用气相色谱法分析，比对结果偏差优于2%，应逐级查找原因，以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。