高州广西气体批发
发布时间:2025-01-05 01:21:51
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标准气体在研制过程中的质量如何,在分析比对方法中分析误差如何.标准气体在有效期内稳定性如何以及瓶内压力降低后的影响如何.均需要用不确定度来评价。由于不确定度是评价标准气体研制水平的指标,是判定标准气体质量的依据。标准气体不确定度的定义作为定量属性的不确定皮概念在广泛意义上是指测量结果的不肯定. 也可以理解为:测量结果带有的一个参数,用以表征合理赋予被测盘值的分散性。测盐不确定度一般包含若干分盐,其中一些分量可用测量列结果的统计分布评定,并以实验标准

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仪器分析一般为相对测量,通常采用标准曲线法进行定量,在确定标准曲线通过原点并成线性以后,也可以用单点校正法定量,但含量与被测样品含量相近,以尽量减少由于线性不好而引起的不确定度,特别对线性范围比较窄的测量法,此点龙为重要。当含量不能做到充分接近时,在被测样品两侧各选择一个标准气体,分别测定后取平均值作为测量结果。

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从安全的角度出发,在制备标准气体之前,必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的爆炸极限,在制备由可燃气体和氢气(或氧气)组成的标准气体时,要注意组分气体含量是否超过爆炸限的问题。否则在制备过程中,可能发生爆炸事故。爆炸限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前,必须了解该组分的爆炸限,以确保安全

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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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只需少量标准气体,可选择100ML注射器配制标准气体;经过多次稀释,可以生产出所需的低浓度标准气体。标准气体的浓度可以根据原料气体的浓度和稀释倍数来计算。配气注射器必须气密性好,体积小,制度准确。配气前放一小块聚四氟乙烯片搅拌。虽然注射器配气方法简单易行,配制某些标准气体时浓度也非常准确,但由于注射器内壁吸附、死体积大、液体挥发不完全等因素影响,气体浓度误差度误差较大,许多化合物的标准气体不宜用该方法制备。使用挥发性液体配气时,特别是通过验证后,注射器配气。