东莞气体厂家价格
发布时间:2025-02-18 01:18:28
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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

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在国民经济高速发展及下游行业的强劲需求下,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,年均增速达到17%以上。2011年,国内特种气体行业产值规模为296.88亿元,较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元,较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元,2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。据统计,我国共有特种气体生产企业150余家,但多数企业生产规模较小。而跨国企业通过在国内投资设立众多合资或独资的气体公司,其市场份额已经占到国内销售气体产品市场份额的70%左右,占据着行业的主导地位。2010年,德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售和83.08%的利润。2011年,外资企业的市场竞争优势进一步上升,其销售收入和利润分别占中国市场总额的67.47%和86.44%。

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超高纯气体系统过滤器主要是过滤系统内部高纯气体中含有的杂质污染物,它的原理是通过扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉。如果有任何杂质在超纯气体里就会造成气体质量下降,影响气体的纯度。