吴川高纯气体生产厂家
发布时间:2025-04-22 01:11:57
吴川高纯气体生产厂家
超纯气体指纯度高于99.99%的气体,是一种高纯化学试剂。它主要应用在一些科学研究和尖端技术的特殊应用上,比如半导体工业中会用到氢、氮、氦、硅烷等单一超纯气体作为保护气和载气,也可在高温扩散炉中用作器件的保护气。除此之外,也有不少超纯混合气体作为色谱、质谱和光谱分析中的标准气来使用。

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标准气体的标准状态—— 标准气体是物质的一个态。气体与液体一样是流体:它可以流动,可变形。与液体不同的是气体可以被压缩。假如没有限制(容器或力场)的话,气体可以圹散,其体积不受限制。标准气体气态物质的原子或分子相互之间可以自由运协。气态物质的原子或分子的动能比较高

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非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。

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高纯气体配管及附件材质的选择:选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
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