梧州高纯气体生产厂家

我们都知道，价格上涨的速度快于指数增长，气体纯度越高，价格越高，并且随着“9”的增加。很难获得七种“9”或更多的超高纯度气体。除了在实验室提供零件外，在一般工业生产中很难提供大量零件。因此，数字为“9”的纯气体在一般生产中是完全不可接受的，除非它可以在科学研究中有条件地被接受。因此，我们应从气体中杂质的浓度和杂质对工艺的危害性的角度选择使用高纯度气体。这是因为很难将气体中的杂质总量降至lppm以下，但重要的是将单个有害杂质降至L×10-9或更低。根据当前工艺水平，硅中的总杂质含量不低于10-8（1ppm）。然而，对磷和硼等有害电活性杂质的单独控制已达到1×10-8～l×10-10。（即o.1o.o1ppb）

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

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非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。

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高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦，氩而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99199%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为运载气，保护气和配制混合气的底气。

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国内共有特种气体生产企业150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。外资通过收购、新设等方式建立气体公司，占据着行业主导地位。2010年，德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售市场和83.08%的利润市场。中国气体行业的竞争实质上是国际气体行业巨头与国内民族气体工业企业的竞争。