韶关高纯气体生产厂家
发布时间:2023-04-23 02:20:56
韶关高纯气体生产厂家
我们都知道,价格上涨的速度快于指数增长,气体纯度越高,价格越高,并且随着“9”的增加。很难获得七种“9”或更多的超高纯度气体。除了在实验室提供零件外,在一般工业生产中很难提供大量零件。因此,数字为“9”的纯气体在一般生产中是完全不可接受的,除非它可以在科学研究中有条件地被接受。因此,我们应从气体中杂质的浓度和杂质对工艺的危害性的角度选择使用高纯度气体。这是因为很难将气体中的杂质总量降至lppm以下,但重要的是将单个有害杂质降至L×10-9或更低。根据当前工艺水平,硅中的总杂质含量不低于10-8(1ppm)。然而,对磷和硼等有害电活性杂质的单独控制已达到1×10-8~l×10-10。(即o.1o.o1ppb)

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无论用什么方法产生的标准气体, 通常都要收集到适当的容器中保存。生产厂家一般都是将其压入钢瓶或玻璃钢瓶中, 并用清洁气体稀释成一定浓度, 作为商品出售。在生产车间或实验室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器临时保存。但要注意, 被贮存的气体不能与容器发生化学作用, 也不能通过器壁或缝隙漏掉。

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为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性,应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、国际比对等。方法比对,常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失,通常采用气相色谱法进行分析比对,以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来,重量法制备标准气体的不确定度优于1%,如果用气相色谱法分析,比对结果偏差优于2%,应逐级查找原因,以保证量值的准确性。实验室之间的比对、国际比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。

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目前在国内洁净管道可参照标准比较少,通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外,在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准: 在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。表1是各线宽下对超纯氮气的要求高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

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对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

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高纯气体管道工程系统应用领域。该项目涵盖半导体、集成电路、平板显示器、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石化、生物医、各种实验室、研究所、标准测试等高科技产业。气体管道的五项试验是QC中最重要的部分。这五项试验包括:保压试验、氦泄漏试验(氦检测)、水试验、氧试验和颗粒试验,确保气体管道系统质量达到一定水平,满足客户需求。我们今天需要了解的是氦质谱泄漏检测的步骤和氦泄漏检测方法。