珠海气体厂家厂家供应

高纯气体管道是高纯气体供气系统的重要组成部分，是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键 ，包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。半导体技术是 20 世纪以来伟大的也是具有生命活力的技术，半导体制造技术是贯穿高纯气体的提供、原料硅的提炼 、晶圆的制造 、IC 的封装和测试的整个过程。反映当今世界高科技水平的微电子产品，正以高性能、低成本为目标，高速地向高密度、高集成发展，对气体杂质含量限制更加严格 ，相应 的高纯、高洁净气体及其管路的输配系统变得十分需要和更加重要

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高纯氢气（PH2）氢气（H2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气（Ar）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

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管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

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在制备标准气体之前，还应考虑组分气体与钢瓶及阀门所用材质是否发生化学反应（如氧化、腐蚀、吸附等）问题，以便保证标准气体的稳定性。依据组分气体与包装容器材质的相容性，选用不同材质的钢瓶和瓶阀来储装标准气体。

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标准气体的标准状态—— 标准气体是物质的一个态。气体与液体一样是流体：它可以流动，可变形。与液体不同的是气体可以被压缩。假如没有限制（容器或力场）的话，气体可以圹散，其体积不受限制。标准气体气态物质的原子或分子相互之间可以自由运协。气态物质的原子或分子的动能比较高