佛山气体厂家批量采购

目前在国内洁净管道可参照标准比较少，通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外，在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准： 在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露点的要求也越来越高。表1是各线宽下对超纯氮气的要求高纯氮气（PN2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氮气（N2）：系统管道采用内壁电解抛光（EP）低碳（316L）不锈钢管或光亮退火（BA）低碳（316L）不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

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那么高纯气体管道安装后应有哪些性能特点？1、管材的透气性要小；2、管材内表面吸附解吸气体的作用要小；3、内壁光滑、耐磨损；4、有良好的抗腐蚀性能；5、性能稳定，含碳量低。以上这些优良性能大多都基于高纯气体管道安装时：对材料阀门的选择、遵循国家管道安装技术要求和施工注意事项(比如：气体管道工程的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部)，以及对气体管道的检验和维护保养。

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从安全的角度出发，在制备标准气体之前，必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的爆炸极限，在制备由可燃气体和氢气（或氧气）组成的标准气体时，要注意组分气体含量是否超过爆炸限的问题。否则在制备过程中，可能发生爆炸事故。爆炸限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前，必须了解该组分的爆炸限，以确保安全

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对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

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高纯气体配管及附件材质的选择：选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。